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陶瓷研磨盤

目前，采用陶瓷研磨盤研磨半導體硅片是最優越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進行研磨，通過改善研磨工藝（磨盤材質、研磨液、研磨壓力及研磨轉速等）來提高研磨片的質量；尤其是使用陶瓷盤代替鑄鐵盤，避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續加工量，縮短了后續工序（腐蝕）時間，提高了生產效率，而且減少了硅片加工的損耗，大大地提高了硅片的利用率。

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產品描述

用于半導體硅片研磨、單晶硅的加工領域等。

產品特點

目前，采用陶瓷研磨盤研磨半導體硅片是最優越最前沿的研磨方法。采用雙面研磨工藝對切割好的硅片進行
研磨，通過改善研磨工藝（磨盤材質、研磨液、研磨壓力及研磨轉速等）來提高研磨片的質量；尤其是使用陶瓷
盤代替鑄鐵盤，避免研磨時對晶片的主面造成傷痕或污染，減少了金屬離子的引入，可減少硅片的后續加工量，
縮短了后續工序（腐蝕）時間，提高了生產效率，而且減少了硅片加工的損耗，大大地提高了硅片的利用率。

技術指標

物理指標

性能	順鵬陶瓷	國內水平	國外水平
密度（g/cm3）	3.97	3.81-3.93	3.9-3.94
純度（%）	99.9	98-99.8	99.5-99.9
維氏硬度（GPa）	17	14-15	16-17.5
三點抗彎強度(MPa)	520	300-350	330-400

產品規格

∅850mm、厚45mm以下的高純氧化鋁圓盤、園環（尺寸可以定制）
我司還可以生產以下規格的高端陶瓷：
1、1500×600×25mm以下的長板、長條、方板、薄板；
2、1000×45×45mm以下的導軌；
3、∅300×500mm以下的空管、圓柱體、電真空管等
4、各種形狀的異形件定制產品

順鵬優勢

我們的產品已出口到澳大利亞、智利、南非、美國、俄羅斯、日本、印度尼西亞等國家，順鵬可提供耐磨陶瓷技術解決方案，將提供適合您要求的產品和優質服務。

產品展示

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萍鄉順鵬新材料有限公司

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郵箱：business@chemshun.com 地址：江西省萍鄉市安源區安源工業園吉林東路

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